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受消费电子产品需求刺激，晶圆用静电卡盘市场快速增长

发布时间：2022年12月06日

晶圆用静电卡盘是一种利用静电吸附原理对吸附物进行夹紧固定的夹具，用于各种半导体工艺中，在加工过程中固定晶圆。静电卡盘采用带有整体电极的压板，通过高电压的偏置，在压板和晶圆之间建立一个静电保持力，从而卡住晶圆。它适用于真空和等离子体环境，主要作用是吸附超干净的薄片（如硅片），使被吸附物保持平整。它可以抑制吸附物在过程中的变形，调节吸附物的温度。与机械卡盘相比，晶圆用静电卡盘减少了机械运动部件，减少了颗粒污染，增加了晶圆的有效面积。与真空卡盘相比，静电卡盘可以在低压（真空）环境中使用，适用于需要卡盘控制晶圆片温度的场合。因此，市场对晶圆用静电卡盘需求不断。

晶圆用静电卡盘有库仑型静电卡盘和约翰森-拉赫贝克（J-R）型静电卡盘两种。库仑型静电卡盘被认为是下一代极紫外线光刻技术的关键技术。在制作过程中，静电压力将光掩模保持在真空中。由于其电介质厚度较厚，库仑型的场强低于J-R型。由于介电层的电阻非常高，泄漏电流很小，因此介电层中的压降几乎与源电压相同。这种类型的优点之一是，在外加电压被切断后，残余的箝位力可以相对容易地消除，因为电荷只是由电场诱发的。与库仑型静电卡盘相比，约翰森-拉赫贝克（JR）型静电卡盘表现出一些优越的性能。这种优越性体现在对于给定的夹紧电压具有更强的夹紧力（或者对于给定的夹紧力需要更低的夹紧电压），并且放宽了电介质制造的材料和加工标准。夹紧力越大，背压越大；因此，可以获得更高的传热能力。

静电卡盘常用于直径300毫米的晶圆、直径200毫米的晶圆、直径150毫米的晶圆等。2020年，各应用市场所占份额分别为66.01%、26.95%、3.59%。随着全球经济的增长，晶圆用静电卡盘的下游应用行业也在不断扩大，特别是在150毫米晶圆市场。下游应用产业的扩张继续在晶圆用静电卡盘市场的扩张中发挥积极作用。

亚太地区竞争力强，中国将成为新的增长点

亚太地区是晶圆用静电卡盘行业最大的收入市场，2015年和2019年的市场份额分别为57.67%和60.12%，同比增长2.45%。2019年，北美市场份额为21.82%，排名第二。

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晶圆用静电卡盘销售公司的主要来自亚洲和北美；行业集中率高。排名前三的公司是SHINKO、Applied Materials和NTK CERATEC，2019年的收入市场份额分别为28.69%、16.11%和9.63%。

晶圆用静电卡盘工业的发展与晶圆设备的需求密切相关。近年来，随着国家加大对半导体领域的投入，中国晶圆设备采购逐年增加，这推动了晶圆用静电卡盘等核心部件的采购增加。此外，随着中国大陆晶圆产能的建设和扩大，中国已成为全球晶圆生产增长的重点，为晶圆用静电卡盘的发展提供了很好的机会。

许多发展中国家晶圆用静电卡盘开发时间较短，目前处于起步阶段，市场竞争力较弱。国际巨头长期控制着晶圆用静电卡盘的全球供应链，市场集中度高。除了少数国际巨头，大多数其他公司仍处于研发阶段，而且这些公司目前只能维修和更换晶圆的静电卡盘，在生产方面还不成熟。另外，晶圆用静电卡盘需要配备熟练的操作人员，设备才能达到最佳工作状态。因此，操作人员必须经过一定的培训，才能利用好设备，这需要投入大量的人力、物力。

消费电子产品需求不断增长，带动晶圆用静电卡盘市场发展

根据研究结果显示，2015年全球晶圆用静电卡盘市场的总价值为163.81百万美元，2019年增加到206.42百万美元。全球各个国家产业政策积极，社会资本活跃，正从各个角度、各个角度支持晶圆产业的发展，共同推动晶圆用静电卡盘等半导体配套设备稳步前进，为晶圆用静电卡盘的发展和市场增长创造机会。因此，我们预测到2025年，晶圆用静电卡盘的市场价值将达到283.56百万美元。2020 - 2025年晶圆用静电卡盘复合年增长率为5.42%。